Aurion Anlagentechnik GmbH

Plazma naudojama daugeliui paviršiaus apdorojimo užduočių, t. y. dengimui, polimerų aktyvinimui, mikroelektroninių komponentų ėsdinimui ir valymui. Paviršių valymui šiuo metu naudojami įvairūs plazmos...

Dulkinimas paprastai reiškia atomų išmetimą iš kietojo kūno taikinio jį "bombarduojant" pagreitintais dujų jonais. Šis metodas dažnai naudojamas plonoms plėvelėms nusodinti. Visoms elektrai laidžioms...

Plazma naudojama daugeliui paviršiaus apdorojimo užduočių, t. y. dengimui, polimerų aktyvinimui, mikroelektroninių komponentų ėsdinimui ir valymui. Paviršių valymui šiuo metu naudojami įvairūs plazmos...

Plazma naudojama daugeliui paviršiaus apdorojimo užduočių, t. y. dengimui, polimerų aktyvinimui, mikroelektroninių komponentų ėsdinimui ir valymui. Paviršių valymui šiuo metu naudojami įvairūs plazmos...

RIE procesas (reaktyvusis joninis ėsdinimas) yra sausas ėsdinimo procesas, naudojamas elektronikos ir mikroelektronikos gamyboje. Taikomi, pavyzdžiui, greitam ir itin dideliam paviršiaus valymui, pavi...

Automatiniai impedanso derinimo tinklai (PRODIK serija), skirti nuo 300 W iki 30 kW galios diapazonui, jungikliai iki 60 kW, modulinės matricos, "Power-Split", skirti vienu metu veikti iš vieno maitin...

Plazma naudojama daugeliui paviršiaus apdorojimo užduočių, t. y. dengimui, polimerų aktyvinimui, mikroelektroninių komponentų ėsdinimui ir valymui. Paviršių valymui šiuo metu naudojami įvairūs plazmos...

Plazma naudojama daugeliui paviršiaus apdorojimo užduočių, t. y. dengimui, polimerų aktyvinimui, mikroelektroninių komponentų ėsdinimui ir valymui. Paviršių valymui šiuo metu naudojami įvairūs plazmos...

Dulkinimas paprastai reiškia atomų išmetimą iš kietojo kūno taikinio jį "bombarduojant" pagreitintais dujų jonais. Šis metodas dažnai naudojamas plonoms plėvelėms nusodinti. Visoms elektrai laidžioms...

AURION siūlo pagal užsakymą pritaikytas kelių kamerų sistemas, kuriose substratai tvarkomi vakuume. Galimos tokios konfigūracijos: blokavimo kameros, perkėlimo kameros ir proceso moduliai, skirti d...

"Aurion" sukūrė procesą, skirtą tuščiavidurių kūnų (pvz., PET butelių) sterilizavimui ir barjeriniam padengimui.

Kompaktiškos sistemos, minimalus užimamas plotas
- Didelis plazmos tank...

Automatiniai impedanso derinimo tinklai (PRODIK serija), skirti nuo 300 W iki 30 kW galios diapazonui, jungikliai iki 60 kW, modulinės matricos, "Power-Split", skirti vienu metu veikti iš vieno maitin...