Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH
Plazminių klasterių sistemos Aurion Anlagentechnik GmbH
AURION siūlo pagal užsakymą pritaikytas kelių kamerų sistemas, kuriose substratai tvarkomi vakuume. Galimos tokios konfigūracijos: blokavimo kameros, perkėlimo kameros ir proceso moduliai, skirti dulkinimo ir RIE procesams.