RIE (reaktyvusis jonų ėsdinimas)

Atsakyti į skelbimą

RIE - reaktyvusis jonų ėsdinimas

Principas + taikymo sritys

RIE procesas (Reaktyvusis jonų ėsdinimas) - tai sausas ėsdinimo procesas, daugiausia naudojamas elektronikos ir mikroelektronikos gamyboje greitam paviršiaus valymui ar aktyvinimui, fotorezistui išplauti arba puslaidininkių plokštelių grandinėms struktūrizuoti.

Šiam tikslui paprastai naudojamas vadinamasis plokščiasis reaktorius, schematiškai pavaizduotas 1 paveiksle. Jei elektrodus veikia aukšto dažnio kintamoji įtampa, esant neigiamam slėgiui nuo 10-2 iki 10-1 mbar, užsidega mažo slėgio dujų išlydis (plazma). Dėl skirtingo plazmoje esančių įkrautų dujų dalelių (sunkiųjų jonų, lengvųjų elektronų) judrumo mažesniajame elektrode susidaro neigiamas potencialas, vadinamasis savaiminis potencialas. Šis potencialas yra nuo kelių 10 iki kelių 100 voltų.

Naudojant tinkamas proceso dujas, ant mažesniojo elektrodo esantiems substratams (plokštelėms, spausdintinėms plokštėms ir kt.) atsiranda du efektai:

Cheminis substrato paviršiaus ar esamų priemaišų pašalinimas reaguojant su reaktyviosiomis plazmos dalelėmis (plazminis ėsdinimas)
Fizinis pašalinimas tiesiogiai perduodant elektrinio lauko pagreitintų jonų impulsą į paviršių (dulkinis ėsdinimas)

RIE procesas sujungia abiejų poveikių privalumus - didelį selektyvumą, didelį ėsdinimo greitį ir anizotropinį pašalinimą.

Sistemos

Remdamasi aukšto lygio žiniomis ir didele patirtimi aukšto dažnio plazmos procesų srityje, AURION sukūrė daugybę RIE sistemų, kurios visų pirma pasižymi lankstumu ir labai geru kainos ir kokybės santykiu. Asortimentą sudaro kelių dydžių sistemos, pritaikytos įvairiems substratams, našumui ir šalinimo greičiui. Dėl didelio galimo įkrovimo pajėgumo (iki 25 plokštelių, kurių Ø 150 mm, arba 20 plokštelių, kurių Ø 200 mm) ir mažo ploto (ne daugiau kaip 1,5 m² švarioje patalpoje) tam tikruose procesuose galima pasiekti didesnį nei 100 000 plokštelių našumą per metus, nepaisant to, kad nėra brangios automatinės tvarkymo sistemos. Šis aspektas labai įdomus ne tik įmonėms, turinčioms nedidelį investicinį biudžetą.

Atsakyti į skelbimą

Kategorija
Siūlo

Valstybė
Germany