Aurion Anlagentechnik GmbH

Aukšto dažnio suderinimo tinklai

Taikymas
PRODIK serijos aukšto dažnio suderinimo tinklai naudojami visiškai automatiniam plazmos impedanso suderinimui su 13,56 MHz vardinio dažnio HF generatoriaus išėjimo varža. Įvairios grandinės leidžia neproblemiškai ir su mažais nuostoliais suderinti diodus, magnetroninius katodus ir didelius plokščius elektrodus, skirtus PECVD ir ėsdinimui (mikroelektronikai, ekranų technologijoms ir kt.).

Tinklai (matchbox) yra optimizuoti siekiant aukščiausio proceso stabilumo ir siūlo pažangiausias matavimo ir kontrolės technologijas. Tai užtikrina optimalų patogumą ir geriausią proceso kontrolę.

Techninė įranga
Mūsų suderinimo tinklai gaminami bekompromisiškai aukštos kokybės. Aukštos kokybės vakuuminiai ir keraminiai kondensatoriai bei pasidabruotos laidininkų dalys, pagamintos iš vientiso vario, visuose labai įtemptuose taškuose užtikrina didelį veikimo patikimumą ir atkuriamumą. Korpusai pagaminti iš aliuminio, o visi dangteliai turi vario-berilio spyruoklinius kontaktus. Taip užtikrinama itin aukšta radijo dažnių ekranavimo kokybė, tačiau įrenginius galima lengvai atidaryti ir uždaryti naudojant vos kelias greitai atlaisvinamas sąvaržas.

Matavimo metodas
Naudojant talpinius įtampos daliklius, matuojamos dvi įtampos ant fiksuoto kondensatoriaus "Matchbox" įėjime. Jie suprojektuoti taip, kad būtų maža sąsaja, todėl slopinami persikirtimai.

Srovės nustatomos pagal įtampų skirtumus; eliminuojami klaidingi tiesioginės srovės matavimai su induktyviaisiais jungikliais.

Išmatuotos vertės registruojamos logaritminiu stiprintuvu. Ši technologija leidžia užtikrinti didžiausią tikslumą ir didžiausią dinamiką.

Įėjimo impedanso ir (ne taip tiksliai) apkrovos impedanso vertės apskaičiuojamos pagal išmatuotus duomenis. Pagal tai valdiklis nustato optimalius kintamųjų kondensatorių nustatymus. Įėjimo ir apkrovos varža gali būti rodoma arba toliau apdorojama per sistemos valdymą.

Be to, degtukų dėžutės išėjime matuojamas nuolatinės srovės šališkumo potencialas, o plazmos aptikimo sistema nustato, ar plazma užsidegė.
Valdymo koncepcija
PRODIK serija įtikina naujoviška jutiklių technologija ir modernia CAN magistralės technologija su decentralizuotu intelektu.

Visi matavimo signalai iš karto po jų gavimo konvertuojami A/D būdu ir perduodami skaitmeniniu būdu, todėl magistralėje nėra trukdžių ar nuostolių.

Vakuuminių kondensatorių variklių pavaros turi savo elektroniką (CUB) su variklių tvarkyklėmis, padėties nustatymu ir CAN sąsaja. Ryšys su centriniu valdikliu naudojamas tiesiogiai kalibruojant pF. Tai reiškia, kad visą iš anksto sukalibruotą kondensatoriaus bloką su pavara galima visiškai pakeisti, nenaudojant jokių kalibravimo priemonių. Visus proceso parametrus galima tiesiogiai atkurti.

Centriniame valdiklyje ASC, be CAN magistralės, standartiškai yra RS232 sąsaja ir "Profibus".

Galima įsigyti universalią analoginę ir skaitmeninę sąsajos kortelę (GCT), skirtą HF generatoriui integruoti. taip ASC gali perimti visą HF generatoriaus valdymą. Tai leidžia, pavyzdžiui, per ASC "Profibus" sąsają valdyti visą HF sistemą, įskaitant ir "Profibus" sąsajos neturintį generatorių.
AURION valdymo koncepcijos schema
Kaip jau minėta, automatinio derinimo tikslais ant įėjimo fiksuotojo kondensatoriaus matuojamos 2 įtampos. Pagal tai apskaičiuojama įėjimo varža, o pagal ją - išėjimo arba apkrovos varža, kurios tikslumas šiek tiek sumažėja. Pasirinktinai galima tiesiogiai matuoti šią išėjimo varžą ir taip tiksliai valdyti susietąją galią.

Per apkrovos varžą galima nustatyti reaktyviąją galią, išėjimo srovę ir kitus procesui svarbius parametrus.

Jų galima ieškoti, rodyti ir vertinti naudojant ETHOS konfigūravimo programinę įrangą arba toliau apdoroti sistemos valdiklyje (pvz., PLC).

Visiškas moduliavimas leidžia greitai ir lanksčiai, tik programinės įrangos pagalba, pritaikyti valdymo koncepciją įvairiems reikalavimams. Pavyzdžiui, yra programinės įrangos variantų, skirtų greitam ciklo laikui, kai purškimo trukmė yra sekundžių intervale. Šiuo atveju klasikinis automatinis derinimas nebūtų taikomas.

Tačiau AURION technologija leidžia suderinti stabilų trumpą dulkinimo procesą su automatiniu dreifo kompensavimu tarp procesų ir taip gauti visus privalumus.

PRODIK serijos suderinimo tinklai projektuojami pagal kliento gamyklos reikalavimus. Šiam tikslui galima naudoti įvairias grandines